本設備應用于Final polish后的化學研磨工程的清洗。
推薦配置：LD+O3水+SC-1+RINSE+SC-2+HOTDI+IR干燥+ULD
主要規(guī)格
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：由CASSETTE LESS的Dip處理
3、處理速度：600片/h(根據(jù)recipe配置變化)
4、設備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3 ）
5、路徑線：FOUP高度900±5mm，手動上下料
6、搬送方式：前置夾爪式機械手
優(yōu)勢
1、清洗能力達到國際先進水平。
2、獨創(chuàng)的溫水慢提拉+IR干燥技術(shù)，無IPA使用，長期成本和風險大幅降低。
3、插片式的傳送方式區(qū)別于傳統(tǒng)，藥液使用量減少30%，設備寬度減少10%。
4、穩(wěn)定的機械傳輸機構(gòu)，無破片風險。
5、專利技術(shù)，清洗時單次旋轉(zhuǎn)30度，相較行業(yè)傳統(tǒng)的10度旋轉(zhuǎn)提升200%，清洗效率提升約10%。
主要規(guī)格
1、可清洗物：300mm厚度0.75mm
2、處理方法：由CASSETTE LESS的Dip處理
3、處理速度：600片/h(根據(jù)recipe配置變化)
4、設備內(nèi)清凈度：Class1（0.1um 小于10pcs/m3 ）
5、路徑線：FOUP高度900±5mm，手動上下料
6、搬送方式：前置夾爪式機械手
優(yōu)勢
1、清洗能力達到國際先進水平。
2、獨創(chuàng)的溫水慢提拉+IR干燥技術(shù)，無IPA使用，長期成本和風險大幅降低。
3、插片式的傳送方式區(qū)別于傳統(tǒng)，藥液使用量減少30%，設備寬度減少10%。
4、穩(wěn)定的機械傳輸機構(gòu)，無破片風險。
5、專利技術(shù)，清洗時單次旋轉(zhuǎn)30度，相較行業(yè)傳統(tǒng)的10度旋轉(zhuǎn)提升200%，清洗效率提升約10%。
電話：025-57255189/13376073907
采購：025-57258357/18951032006
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